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本报记者 吴奕萱

11月21日，江丰电子与秦川机床举行共建“集成电路制造用超高纯金属溅射靶材高端装备协同创新中心”签约仪式。江丰电子董事长兼首席技术官姚力军，秦川机床党委书记、董事长严鉴铂等双方企业领导出席签约仪式。

江丰电子表示，秦川机床是公司最重要的战略合作伙伴和供应商之一，多年来向江丰电子供应了数百台机床设备，提供了可靠的产品和服务，有效保障了江丰电子的业务发展，同时也为我国超大规模集成电路产业的发展提供了有力的支撑。

江丰电子还表示，本次合作将进一步加强双方联合攻关、协同创新的深度与广度，通过成立“秦川机床-江丰电子半导体靶材高端装备创新中心”，开展基础理论与核心技术研究、协同创新基地建设、协同创新队伍建设、创新型人才培养等工作，加快靶材装备技术高端制造技术突破，提升加工品质、效率，打造靶材高端制造装备共性技术研究与创新发展的国际化前沿阵地。

（编辑 田冬 上官梦露）

关键词： 创新中心 高端装备