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本报记者 郑馨悦

盛剑环境于10月19日晚间披露关于签订重大订单的公告。盛剑环境（股票代码：603324）全资子公司上海盛剑半导体科技有限公司与北方华创（股票代码：002371）全资子公司北方华创微电子签订半导体工艺制程附属设备Local Scrubber（简称“L/S”）采购订单，合同总额1亿元（含税）。

Local Scrubber用于对制程过程中产生的含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒有害废气进行源头处理，该设备一端与泛半导体工厂工艺设备相连，通过真空泵抽取工艺设备内产生的废气并进行分解；另一端与中央治理系统相连，将分解后的尾排气体排至中央处理装置并进行后续处理。Local Scrubber属于半导体工艺制程设备的一部分，其对运行稳定性及气体处理效率要求高，能够有力保障泛半导体客户的产能利用率、产品良率、员工职业健康及生态环境，是泛半导体客户生产工艺不可分割的组成部分。

盛剑环境此前在投资者关系活动记录表中表示，目前公司Local Scrubber等制程附属设备性能已达到国外同行水平，并且具备更好的性价比，特别是在交付能力、安装调试及售后服务响应速度、本土化制造供应链支持方面有较为明显的优势，渗透率仍有较大提升空间。随着国内泛半导体行业的高景气度发展，特别是在国产替代和供应链安全的大趋势下，盛剑环境作为本土制程附属设备供应商面临难得的历史机遇和发展空间。

（编辑 张钰鹏 才山丹）

关键词： 附属设备